определении пористости и распределения мезо- и микропор по размерам в
эллипсометрическая адсорбционная порометрия, который был применен для
методы, так, в [14] был разработан новый мощный неразрушающий метод –
За последнее время широкое распространение получили оптические
применение этого метода к пористым наноматериалам описано в [12-14].
методом исследования распределения пор является метод сорбометрии,
полученных слоев пористого кремния могут изменяться в широких
морфология и тип пористой структуры, а, следовательно, и свойства
проводимости, уровня легирования, кристаллографической ориентации),
электрохимической обработки и параметров кремниевой подложки (типа
электрохимических реакций и т.д. Например, в зависимости от режимов
пор, толщина перегородок между ними, наличие в объеме продуктов
такими их основными характеристиками как пористость, размер и форма
и др. [1-6]. Известно, что свойства пористых материалов определяются
МЭМС, сенсорике, оптоэлектронике, альтернативной энергетике, медицине
наноматериалами и находят различные применения в технологиях ИМС и
полупроводники и оксиды металлов являются чрезвычайно актуальными
Библиографическое описание: Определение параметров пористой структуры в por-Si и por-Al2O3 путем компьютерной обработки данных растровой и атомно-силовой микроскопии [Текст] / Ю. М. Спивак [и др.] // Молодой ученый. 2012. 5. С. 1-4.
Определение параметров пористой структуры в por-Si и por-Al2O3 путем компьютерной обработки данных растровой и атомно-силовой микроскопии
Определение параметров пористой структуры в por-Si и por-Al2O3 путем компьютерной обработки данных растровой и атомно-силовой микроскопии (Журнал "Молодой ученый")
Комментариев нет:
Отправить комментарий